【摘 要】
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利用反射各向异性谱（RAS）和反射谱在线监测了AlxGa1-xAs样品的金属有机化合物汽相淀积（MOCVD）外延生长过程。通过在线监测得到的RAS和反射谱可以敏感地反映出AlxGa1-xAs外延层组
【机 构】
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发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
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利用反射各向异性谱（RAS）和反射谱在线监测了AlxGa1-xAs样品的金属有机化合物汽相淀积（MOCVD）外延生长过程。通过在线监测得到的RAS和反射谱可以敏感地反映出AlxGa1-xAs外延层组份发生的变化,从而优化外延生长工艺。实验表明,反射谱中的振荡周期可以在线计算组份和生长速率,利用反射谱中的振荡的第一个最小值与Al组份的线性关系,可以确定渐变组份初始值。通过在线计算得到的生长速率和组份与扫描电镜（SEM）和高分辨X射线衍射（HRXRD）测试得到的结果基本吻合。
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