【摘 要】
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硅缓蚀剂分为无机硅缓蚀剂和有机硅缓蚀剂。无机硅缓蚀剂以硅酸盐为主,是一种阳极型缓蚀剂,硅酸盐配方可作为低磷缓蚀剂配方的一种,文章介绍了典型的硅酸盐配方及其使用效果;
【机 构】
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中国石油化工股份有限公司石油化工科学研究院
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硅缓蚀剂分为无机硅缓蚀剂和有机硅缓蚀剂。无机硅缓蚀剂以硅酸盐为主,是一种阳极型缓蚀剂,硅酸盐配方可作为低磷缓蚀剂配方的一种,文章介绍了典型的硅酸盐配方及其使用效果;有机硅缓蚀剂包括有机硅烷、有机硅氧烷和有机硅烷偶联剂改性物两大类,文章介绍了有机硅缓蚀剂的种类和应用。有机硅缓蚀剂形成硅垢的倾向大大降低,和无机硅酸盐配合使用,可以有效解决硅垢沉积的问题,并提高缓蚀效果。
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