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采用激光显微光致发光（PL）光谱仪测试了低Al组分AlxGa1-xAs的室温显微光致发光谱，研究了光致发光测试方法的特点，结合文献中报道的低Al组分的经验计算公式，自主开发了能进行光谱数据处理和Al组分计算的VB应用程序，目前已进入实用化。结果显示，该程序的开发和应用是获取低Al组分AlxGa1-xAs材料Al组分的非常重要的表征手段，并为研究和优化AlxGa1-xAs材料生长工艺提供指导，同时还成为筛选用于制作器件工艺合格材料的重要依据。