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光开关是光通信网络的重要功能器件,MEMS光开关是最具发展前景的光开关之一.在简介不同种类光开关原理特点的基础上,详细分析了当前主要的MEMS光开关的分类、结构、工艺与性能特点,并给出这一领域的研究与发展状况.
MEMS光开关的研究与进展
【摘 要】
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光开关是光通信网络的重要功能器件,MEMS光开关是最具发展前景的光开关之一.在简介不同种类光开关原理特点的基础上,详细分析了当前主要的MEMS光开关的分类、结构、工艺与性
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年2期
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