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片式薄膜电阻器的生产采用光刻的工艺来实现电阻图形,会大大降低膜层所受到的应力,保证电阻的稳定性和一致性。改进光刻胶的涂覆均匀性是改进光刻工艺一种最节省成本最有效的技术手段。对匀胶工艺中的最关键的两个技术参数转速和时间进行了分析,同时研究了前烘的温度和时间对显影图形的影响。
匀胶胶厚均匀性的研究
【摘 要】
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片式薄膜电阻器的生产采用光刻的工艺来实现电阻图形,会大大降低膜层所受到的应力,保证电阻的稳定性和一致性。改进光刻胶的涂覆均匀性是改进光刻工艺一种最节省成本最有效的
【机 构】
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双环电子集团贝迪斯电子有限公司
【出 处】
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安徽电子信息职业技术学院学报
【发表日期】
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2018年01期
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