几种低压气相沉积技术制备立方氮化硼膜的新进展

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介绍了 c-BN的优异特性及应用前景。评述了 c-BN膜的几种低压物 理气相沉积(PVD)和低压化学气相沉积(CVD)制备方法,分析其成膜特点及对c- BN形成有显著影响的工艺参数。介绍了当前c-BN膜研究取得的成果,对如何提 高成膜质量提出了自己的一些看法。
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