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简要论述了半导体纳米材料的发展历史及其特点，着重讨论了当前国内外主要的几种半导体纳米材料的制备工艺技术，包括溶胶-凝胶法、微乳液法、模板法、基于MBE和MOCVD的纳米材料制备法、激光烧蚀法和应变自组装法等，并分析了以上几种纳米材料制备技术的优缺点及其应用前景。
新型半导体纳米材料的主要制备技术
【摘 要】
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简要论述了半导体纳米材料的发展历史及其特点，着重讨论了当前国内外主要的几种半导体纳米材料的制备工艺技术，包括溶胶-凝胶法、微乳液法、模板法、基于MBE和MOCVD的纳米材料
【机 构】
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江苏大学电气与信息工程学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年3期
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