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蚀刻技术（日本电气）平川克则金子若彦木下胜行１引言薄膜晶体管液晶显示器（ＴＦＴ－ＬＣＤ）以其图像清晰、超薄型、重量轻、耗电少等优点，将成为下一代显示器件的主流。为了满足ＬＣＤ在大型化、色调好、亮度高、耗电少和价格低等方面更严格的要求，对工艺技术的要求...
蚀刻技术
【摘 要】
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蚀刻技术（日本电气）平川克则金子若彦木下胜行１引言薄膜晶体管液晶显示器（ＴＦＴ－ＬＣＤ）以其图像清晰、超薄型、重量轻、耗电少等优点，将成为下一代显示器件的主流。为了满足ＬＣＤ在大型化、色调好、
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1994年01期
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