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2MeV,(1~2)×10^14cm^-2硅离子注入SI-InP(Fe)造成负的(-3.4×10^-4~-2.9×10^-4)晶格应变,光快速退火的激活能为0.26eV。880℃/10s退火可得到100%的施主激活。间断两步退火(375℃/30s+880℃/10s)使注入层单晶恢复完全,较大程度(20%~35%)地改善了载流子的迁移率。四能量叠加注入已能在0.5~3.0μm的深度区域形成满足某些器