【摘 要】
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采用离子束溅射（IBS）方法制备了 HfO2和 Ta2 O5两种金属氧化物薄膜，通过测量薄膜的椭偏参数，使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。在拟合过程中，采用L8（27）正交表设计
【基金项目】
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国家自然科学重点基金项目(61235011);国家重大科学仪器专项子项目(2012YQ04016405);天津市自然科学基金项目(10JCYBJC01500);天津市自然科学青年基金项目(12JCQNIC01200)资助
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采用离子束溅射（IBS）方法制备了 HfO2和 Ta2 O5两种金属氧化物薄膜，通过测量薄膜的椭偏参数，使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。在拟合过程中，采用L8（27）正交表设计了8组反演计算实验，在初始选定Cauchy模型后，对 HfO2薄膜拟合影响最大的为表面层模型，对Ta2 O5薄膜拟合影响最大的为折射率梯度模型。确定了不同物理模型对拟合函数MSE的影响权重和拟合过程中模型选择的次序，按照确定的模型选择次序拟合，最后加入弱吸收模型反演计算两种薄膜的光学常数，反演计算的MSE相对初始MS
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