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ASPEX全自动夹杂物分析仪对试样检测面的平行度和清洁度均有较高要求。通过对已有的扫描电镜类夹杂物分析用试样制备工艺进行改进,增加了冲洗、清抛、清洁等工艺步骤,并严格规范了试样安装步骤,确定了合理的ASPEX全自动夹杂物分析仪试样制备工艺。结果表明：使用该工艺制备的试样质量稳定,能够满足ASPEX全自动夹杂物分析仪全自动分析要求,改进后ASPEX全自动夹杂物分析仪对夹杂物自动识别的准确率由原来的54.43%提高到97.05%。