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用（Ｔａ２Ｏ５＋ＺｒＯ２）和ＳｉＯ２成功地镀制出两个波段的激光反射镜，使激光破坏阈值提高５％－１５％，膜层吸收小，机械强度增加，理论计算和测量混合成分含量表明，膜成分与配比成分存在６％－１３％的偏差。
用混合材料镀制激光反射镜
【摘 要】
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用（Ｔａ２Ｏ５＋ＺｒＯ２）和ＳｉＯ２成功地镀制出两个波段的激光反射镜，使激光破坏阈值提高５％－１５％，膜层吸收小，机械强度增加，理论计算和测量混合成分含量表明，膜成分与配比成分存在６％－１３％的偏差。
【机 构】
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电子科技大学信材学院,机电部２０５所,上海机械学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1994年1期
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