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期刊论文
用混合材料镀制激光反射镜
用混合材料镀制激光反射镜
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xpzcz1993
【摘 要】
:
用(Ta2O5+ZrO2)和SiO2成功地镀制出两个波段的激光反射镜,使激光破坏阈值提高5%-15%,膜层吸收小,机械强度增加,理论计算和测量混合成分含量表明,膜成分与配比成分存在6%-13%的偏差。
【作 者】
:
张怀武
刘三雄
黄祥成
【机 构】
:
电子科技大学信材学院,机电部205所,上海机械学院
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
激光反射镜
薄膜材料
镀膜
Laser Reflection Mirror
Material of Thin Film
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用(Ta2O5+ZrO2)和SiO2成功地镀制出两个波段的激光反射镜,使激光破坏阈值提高5%-15%,膜层吸收小,机械强度增加,理论计算和测量混合成分含量表明,膜成分与配比成分存在6%-13%的偏差。
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