【摘 要】
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蒙特卡洛动力学(Kinetic Monte Carlo-KMC)仿真方法通过结合金刚石膜生长表面的原子结构和形貌特性,以及对CVD金刚石膜生长过程在原子尺度上的三维表征,可以形象描述CVD金刚
【机 构】
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北京科技大学,北京科技大学,北京科技大学 北京100083,北京100083,北京100083
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蒙特卡洛动力学(Kinetic Monte Carlo-KMC)仿真方法通过结合金刚石膜生长表面的原子结构和形貌特性,以及对CVD金刚石膜生长过程在原子尺度上的三维表征,可以形象描述CVD金刚石薄膜原子尺度生长过程。本文在介绍KMC方法的同时,分析了所存在问题,并对原有KMC方法加以改进,使之更准确地反映CVD金刚石薄膜原子尺度的生长规律。
Kinetic Monte Carlo-KMC Simulation Method By combining the atomic structure and morphology of the diamond film growth surface and the three-dimensional characterization of the growth process of CVD diamond film on the atomic scale, the CVD diamond film atom Scale the growth process. In this paper, the KMC method is introduced, the existing problems are analyzed, and the original KMC method is improved to reflect the growth rules of CVD diamond film more accurately.
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