硅单晶中氮的特性

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【摘要】

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<正> 采用 FZ 和 CZ 法生长出了掺氮硅单晶,由红外（IR）吸收法和活化分析法测得氮的浓度为0.6～7×1015原子数 cm-3。根据压痕玫瑰花纹观察结果表明掺氮硅单晶对位错的钉扎作用比

【作者】

：

T.阿部 T.益井 H.原田 J.千川李立本

【机构】

：

日本信越公司,日本信越公司,日本信越公司,日本国立高能物理实验室,浙江大学半导体研究所,

【出处】

：

材料科学与工程

【发表日期】

：

1986年02期

【关键词】

：

硅单晶红外吸收氮浓度微缺陷

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<正> 采用 FZ 和 CZ 法生长出了掺氮硅单晶,由红外（IR）吸收法和活化分析法测得氮的浓度为0.6～7×10¹⁵原子数 cm^-3。根据压痕玫瑰花纹观察结果表明掺氮硅单晶对位错的钉扎作用比普通硅单晶更强。经退火热处理后,氮的红外吸收峰值的降低,CZ 硅单晶比 FZ 硅单晶更为显著。这暗示了氮原子与杂质氧的紧密结合,从而成为氧沉淀的核心。发现杂质氮

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