【摘 要】
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本文论述了气相外延炉单板机直接数字控制系统的组成和性能,对象数学模型的建立和两种数字控制器的设计方法,以及本系统的控制软件和操作过程。该系统已在生产线上运行,情况
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本文论述了气相外延炉单板机直接数字控制系统的组成和性能,对象数学模型的建立和两种数字控制器的设计方法,以及本系统的控制软件和操作过程。该系统已在生产线上运行,情况良好。
In this paper, the composition and performance of direct digital control system of single-plate machine of vapor phase epitaxy furnace, the establishment of mathematical model of object and the design method of two kinds of digital controllers, as well as the control software and operation process of this system are discussed. The system is already running on the production line and is in good condition.
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