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用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜.对膜进行了表面形貌观察、显微硬度测试,测试并分析了膜的Raman光谱和傅立叶变换红外光谱.发现膜含微晶石墨杂质较少,具有硬度高、化学惰性等优点,适应于制作硅衬底上波长低于8μm的红外增透膜.
超硬非晶碳薄膜用作红外增透膜的研究
【摘 要】
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用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜.对膜进行了表面形貌观察、显微硬度测试,测试并分析了膜的Raman光谱和傅立叶变换红外光谱.发现膜含微晶石墨
【机 构】
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湘潭大学物理系
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2002年6期
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