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超硬非晶碳薄膜相关论文
超硬非晶碳薄膜用作红外增透膜的研究
用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜.对膜进行了表面形貌观察、显微硬度测试,测试并分析了膜的Raman......
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超硬非晶碳薄膜
红外增透膜
激光烧蚀
增透保护膜
laser ablating
amorphic carbon film
antireflective and
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