不同衬底上制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微结构研究

来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangyiwenabc

【摘要】

：

采用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置,在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜.用透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜和衬底间的界面,薄膜

【作者】

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王小平刘援王霈文李季林晨光华志强冯稷吴柏枚杜

【机构】

：

北京有色金属研究总院,北京,100088中国科学院物理研究所,北京,100080;中国科学技术大学,合肥,230026;

【出处】

：

低温物理学报

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

不同衬底超导薄膜不同表面形貌扫描隧道显微镜原子力显微镜磁控溅射装置组织结构形成机制透射电镜生长结构生长机理缺陷界面附近衬底沉积大直径

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采用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置,在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜.用透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜和衬底间的界面,薄膜的螺旋生长结构,YBCO薄膜及其相应衬底的表面形貌进行了观察和测量.分析了基片表面形貌及表层内缺陷对界面附近薄膜组织结构的影响.研究了不同衬底沉积的超导薄膜具有不同表面形貌的原因.从生长机理角度对表面形貌、缺陷和位错的形成机制进行讨论.

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