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采用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置,在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜.用透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜和衬底间的界面,薄膜的螺旋生长结构,YBCO薄膜及其相应衬底的表面形貌进行了观察和测量.分析了基片表面形貌及表层内缺陷对界面附近薄膜组织结构的影响.研究了不同衬底沉积的超导薄膜具有不同表面形貌的原因.从生长机理角度对表面形貌、缺陷和位错的形成机制进行讨论.