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本文应用激光显微光谱,离子探针质谱,俄歇电子能谱及其它现代微量分析技术研究一些半导体器件和集成电路表面的微量杂质沾污。其目的在于寻求有效的方法把现存杂质数量减少到许可的程度。
半导体器件微量杂质沾污的分析
【摘 要】
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本文应用激光显微光谱,离子探针质谱,俄歇电子能谱及其它现代微量分析技术研究一些半导体器件和集成电路表面的微量杂质沾污。其目的在于寻求有效的方法把现存杂质数量减少到
【机 构】
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云南大学物理系; 云南大学物理系;
【出 处】
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云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年期
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