高压JTE终端边界元电场分析

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sylviawan
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在半导体高压终端研究中,重要的工作之一是终端电场电位分析,国内外以往报道的JTE分析结果除采用解析方法外,数值方法主要采用差分或有限元法,作者利用边界元数值技术,采用“边界元临界电场分析法”用自主开发的统一的边界元终端分析软件,从新的角度,以单区,双区JTE为例,详细讨论了新的边界元分析法,研究了极值电场分布等情况,得到了物理概念清晰,描述较准确而又简明直观的优化结果,边界元算法独特,优点显著,现
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