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改进了分子束外延设备样品加热平台的加热和测温方式,在原有热辐射加热和红外测温的基础上,增加直流电流加热并采用比例积分微分(PID)精密控温装置对样品加热台进行测温和控温.改进后,原有设备所能制备的研究样品范围更广,并且还增加了围绕设备所展开的科研方向,扩充了设备的使用范围.
基于SPECS生产的分子束外延设备样品加热平台的改进
【摘 要】
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改进了分子束外延设备样品加热平台的加热和测温方式,在原有热辐射加热和红外测温的基础上,增加直流电流加热并采用比例积分微分(PID)精密控温装置对样品加热台进行测温和控温.改进后,原有设备所能制备的研究样品范围更广,并且还增加了围绕设备所展开的科研方向,扩充了设备的使用范围.
【机 构】
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兰州大学物理科学与技术学院
【出 处】
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分析测试技术与仪器
【发表日期】
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2021年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金(12074157)。
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