【摘 要】
：
为有效提升60GHz贴片天线及阵列的辐射带宽,提出利用微机械手段加工天线的低温共烧陶瓷（LTCC）基板。通过微切削方法在特定生瓷层上制作贯通结构,充填可挥发牺牲材料,完成基板叠
【机 构】
：
北京信息科技大学信息微系统研究所,北京大学微米纳米加工技术国家级重点实验室,中国电子科技集团公司第四十三研究所
论文部分内容阅读
为有效提升60GHz贴片天线及阵列的辐射带宽,提出利用微机械手段加工天线的低温共烧陶瓷（LTCC）基板。通过微切削方法在特定生瓷层上制作贯通结构,充填可挥发牺牲材料,完成基板叠压、烧结,待牺牲层升华排净后最终构成三维微结构。设计、制备了悬臂梁、围框结构和微管道等工艺样品。对天线设计电性能进行全波分析,并测试了微流道散热特性。实验结果表明：提出的方法成功解决了不同轴系各方向收缩率不一致、空腔塌陷等工艺问题,制作出的悬臂梁与围框尺寸高宽比达4∶1,总长为12mm,总层厚为1.4mm;内嵌微流道横截面为200μ
其他文献
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
建筑行业属于高能耗行业，如何在建筑工程施工中实现绿色节能一直是行业内关注的重点问题。文章首先明确了绿色节能技术应用的意义，然后归纳了绿色节能技术在应用中应遵循的基本
目前的交通灯时间多数都采用静态配时策略，无论是车流高峰还是低谷，红绿灯时间及间隔都是固定不变的，显然地，在这样的配时策略导向下，车流辆多时不能合理发挥交通导向作用,车流辆
通过系统框图，剖析ＤＧＳ８８００ｅ数字调速器各主要环节的作用功能，并深入了分析了系统的转速调节原理。
沛县普及气功的主要经验──摘自沛县县委副书记韩大俭汇报一、提高认识，统一思想１９８４年，马礼堂老先生来沛县传授养气功后，当时的人大专职常委徐显扬和一批气功骨干，以无私奉献精神，坚
为了调查农村留守初中生隔代教养方式、问题行为的现状并探讨两者之间的关系,采用修订的隔代教养方式问卷和问题行为早期发现测验(PPCT),以310名农村留守初中学生为调查对象
十八大以来,以习总书记为核心的党中央高度重视科技创新工作,围绕科技成果同产业对接,创新项目同现实生产力对接,研发人员创新劳动同其利益收入对接,深化科技体制改革,扫除影
对24例贲门失驰缓症病例采用手术治疗,获得了较满意的效果。采用Heller氏手术治疗贲门失驰缓症应做到食管贲门粘膜外肌层切开长度要足够,一般不少于8cm;肌层切开要充分,剥离
新冠肺炎疫情是新中国成立以来传播速度最快、感染范围最广、防控难度最大的一次重大突发公共卫生事件。虽然在以习近平同志为核心的党中央的坚强领导下,我们取得了“战疫”
提出了基于数字微镜器件（DMD）的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道。单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器