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就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一。这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障。本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工技术的应用进行分析和研究。
硅基微机械加工技术
【摘 要】
：
就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一。这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障。本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加
【机 构】
：
大庆市实验中学
【出 处】
：
电子世界
【发表日期】
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2016年23期
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