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研究了准分子激光对硬质合金（ＹＧ６）表面产生的选择性蒸发和表面改性作用（粗糙化）探索在硬质合金表面沉积金刚石薄膜的工艺参数，讨论了温度，气体流量及甲烷浓度对沉积金刚石薄膜的影响规律。
用热丝法在激光预处理的硬质合金表面沉积金刚石薄膜的研究
【摘 要】
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研究了准分子激光对硬质合金（ＹＧ６）表面产生的选择性蒸发和表面改性作用（粗糙化）探索在硬质合金表面沉积金刚石薄膜的工艺参数，讨论了温度，气体流量及甲烷浓度对沉积金刚石薄膜的影响规
【机 构】
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太原工业大学,北京科技大学
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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1996年1期
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