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本文介绍了一种简单易行的高真空旋转密封方法——油封法。在轴径为φ40毫米,转速为2000转/分的时候,工作室的动态真空度达到了3×10-6托。文中叙述了油封作高真空旋转密封的原理、设计和实验,提供了许多有用的实践经验。
油封用于高真空旋转密封的尝试
【摘 要】
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本文介绍了一种简单易行的高真空旋转密封方法——油封法。在轴径为φ40毫米,转速为2000转/分的时候,工作室的动态真空度达到了3×10-6托。文中叙述了油封作高真空旋转密封的
【机 构】
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长沙半导体工艺设备研究所;
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1986年01期
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