【摘 要】
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用热力学计算了InP-H<sub>2</sub>-KBH<sub>4</sub>体系中磷的组分与温度的关系,从理论上探讨了用气相色谱分析固相中磷的可能性。建立了不经化学预处理,用气相色谱直接测定
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所北京100083,北京100083,北京100083
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用热力学计算了InP-H<sub>2</sub>-KBH<sub>4</sub>体系中磷的组分与温度的关系,从理论上探讨了用气相色谱分析固相中磷的可能性。建立了不经化学预处理,用气相色谱直接测定固、液、气相样品中的磷及其磷化物的方法,测定结果与分光光度法基本一致。用逆向喷淋的方法对半导体工艺尾气中的磷进行了有效的治理。
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