HP5528A激光干涉仪在小角度细分精度测试中的应用

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本文介绍用HP5528A激光干涉仪的角度测量组件与多齿分度台相结合对圆感应同步器或圆光栅等测角系统的小角度细分精度进行测试的原理和实际应用,以多齿分度台为标准对HP5528A测角系统在小角度测量范围内的系统误差进行检定,利用该仪器的预置功能对系统误差作补偿,可使1度范围内的细分测角精度提高到0.1角秒左右。
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