Numerical modeling of SiC by low-pressure chemical vapor deposition from methyltrichlorosilane

来源 :中国化学工程学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haley912

【摘要】

：

The development of functional relationships between the observed deposition rate and the experimental conditions is an important step toward understanding and o

【作者】

：

Kang Guan Yong Gao Qingfeng Ze

【机构】

：

SchoolofMaterialsScienceandEngineering,ScienceandTechnologyonThermostructuralCompositeMaterialsLabor

【出处】

：

中国化学工程学报:英文版

【发表日期】

：

2020年6期

【关键词】

：

Chemical vapor deposition MTS/H2 Gas-phase and surface kinetics Extreme learning

【基金项目】

：

the National Key R&D Program of China(Grants No.2017YFB0703200),National Natural Science Foundation of China(Grants Nos.51702100,51972268),China Postdoctoral Science Foundation(Grants No.2018M6430

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The development of functional relationships between the observed deposition rate and the experimental conditions is an important step toward understanding and optimizing low-pressure chemical vapor deposition(LPCVD)or low-pressure chemical vapor infiltrat

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