压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oraclenienan
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2 μm和0.1 nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10 nm的高精度定位要求,使整个
其他文献
审定编号 豫审麦2011008 选育单位 郑麦9405×(48269×周麦16) 品种来源 河南省农业科学院小麦研究中心 特征特性“郑麦7698”属弱春性多穗型强筋类小麦品种,平均全生育
特征特性 “FS才子西芹”是由台湾第一种苗公司利用法国品种资源选育而成的西芹品种。该品种生长速度中等偏快,株形整齐一致,叶柄较长,最大单棵重可达3千克,高产田每667平方米产
研究了一类具有隔离仓室的非线性高维自治微分系统SEIQR流行病传播数学模型,得到疾病绝灭与否的阈值--基本再生数R0,证明了无病平衡点和地方病平衡点的存在性及全局渐近稳定
针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题,设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台.该平台采用12个空心电磁线圈做定子、36块永磁体做动子,悬浮部分与驱动部分相互独立,从
审定编号 豫审棉2010003选育单位 河南省新乡市锦科棉花研究所品种来源 锦科980133×豫668特征特性“锦科棉9号”为双价转基因抗虫常规春棉品种,生育期124天;出苗好,整个生
认定编号 豫R-ETS-CC-040-2011(有效期5年)证书编号 豫林审证字257号品种来源 引进品种品种特性树势中等,树姿开张;每果枝平均栗苞数1.4个,单苞质量89克,平均每个苞内含坚果1.6粒,总苞
为了提高立式转子的动平衡精度,研制了气悬浮测量装置,其核心部分是一个将转子稳定悬浮的气体静压球面轴承,并由气流驱动转子匀速旋转,通过测量转子的微小偏移来计算其动不平
美国一家公司正尝试出售一种基因改良苹果,这种苹果被切成片或碰伤后,果肉不会氧化变成棕色。据报道,这家名为奥肯那根特色水果的公司称,这种名为“北极苹果”的改良苹果将会受到
从理论上建立了压印光刻工艺中留膜厚度与压印力的关系,为压印预设曲线的建立提供了理论依据.基于液态光敏抗蚀剂在紫外光照射下发生光固化反应这一特性,对固化过程进行了详
为提高信息检索系统的性能,提出了一种多查询数据融合与正相关反馈相结合的检索算法.算法的核心思想是:利用基于向量表示的余弦相似度测度计算查询与文档之间的相似度,采用多