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显像管残余气体分析及离子轰击研究
显像管残余气体分析及离子轰击研究
来源 :中国真空学会第六届全国会员代表大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shanghairenxuchenhui
【摘 要】
:
显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响.在此基础上可以进行残余气体离子轰击的计算机模拟研究,并对显像管电子枪进行优化设计。
【作 者】
:
张晓兵
蒋峻
毛福明
雷威
【机 构】
:
东南大学电子工程系,南京,210096 华飞彩色显示系统有限公司电子枪厂,南京,210028
【出 处】
:
中国真空学会第六届全国会员代表大会
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
显像管
残余气体分析
四极质谱
离子轰击
消气剂
计算机模拟
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显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响.在此基础上可以进行残余气体离子轰击的计算机模拟研究,并对显像管电子枪进行优化设计。
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