残余气体分析相关论文
真空密闭腔体广泛应用于航天航空、军事工程等多个领域,其内部无源真空环境的获得和维持是国内外研究者的重点关注对象。残余气体......
真空封装是微电子机械系统（MEMS）封装技术的重点研究内容,一些对工作环境要求较高的器件,腔体泄漏、材料放气等多种原因会导致腔体内......
空间环境地面模拟试验是航天器及其组件地面试验中的重要程序之一。为了避免外来污染源、提高试验的可靠性和真实性，分析空间环境模......
会议
空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析......
通过在加工现场和安装现场搭建的真空辅助系统、四极质谱计及氦检漏仪组成的检漏系统,运用残余气体分析和氦质谱检漏方法在冷态下......
以一种有尾排气式真空封装器件为对象,从释放气体组分和放气量两方面对封装体内部放气特性进行了分析,旨在为器件的高真空度设计、......
本文详细介绍了新型分子增压泵的测试方法,对分子增压泵的极限真空、返油率、抽速及工作频率等性能进行了测试分析。测试结果表明,......
真空检漏是漂移管直线加速器(DTL)获得高真空的重要技术.四极质谱计是分析真空系统内残余气体成分的重要工具,同时也可作为一种检......
文章介绍了残余气体分析技术在“海洋一号”正样星真空热试验中的应用。目前,国内外星船试验中的残余气体分析,一般都是将仪器探头......
本研究是为了设计一套大流量、清洁的真空差分系统.计算了超重反冲核实验装置终端真空差分系统各级的真空度;介绍了差分系统的设计......
文章介绍了残余气体分析技术在"海洋一号"正样星真空热试验中的应用.目前,国内外星船试验中的残余气体分析,一般都是将仪器探头安......
用热脱附谱(TDS)研究H2O在磷硅玻璃(PSG)中被吸附的问题.PSG是在400℃左右用化学气相淀积(CVD)方法生长的,在生长过程及以后的工序......
残余气体分析仪可以得到真空系统残余气体的质谱图，并给出各个质荷比峰的离子流值，但不能直接测量残余气体中各组分气体的分压强。在......
介绍了自主研发的四极质谱仪原理、设计和相关测试结果.四极质谱仪主要由离子源、四极滤质器、离子检测机构、控制电源和信号处理......
自行设计了可直接测量成品集热管夹层真空状况的装置,对集热管夹层内真空度进行测量,并验证了该装置的可靠性。利用该真空开管装置......
期刊
介绍了中国散裂中子源(CSNS)直线加速器真空系统的组成和抽气系统的设计。利用氦质谱检漏仪和四极质谱计两种手段对RFQ腔进行检漏,......
