晶片电容“无尘室”车间大气污染源分析及治理措施选择对VOCs减排作用的探讨——以珠三角某电子企业电容扩建项目为例

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晶片电容生产企业的"球磨-涂工-印刷"是在"无尘室"车间完成的。经过详细的工艺分析与物料衡算,得出该类车间废气在整个电容生产工艺中是重要的大气污染源。以珠三角某电子企业电容扩建项目为例,对该企业现有项目"无尘室"废气治理措施进行分析,指明了现有项目难以满足印刷行业VOCs排放标准及珠三角有机废气控制要求,在冷凝法、膜分离法、吸附法、生物法、燃烧法及低温等离子体法的对比选择中选择了"活性炭吸附+高温脱附催化燃烧工艺+低温等离子体方法"作为改进措施,并核算了采用该种方法后VOCs减排量与废活性炭更换量。
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