Si基毫米波共面波导建模

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【摘要】

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本文阐述了毫米波CMOS集成电路的关键技术之一,Si基共面波导(CPW)的机理和等效电路模型。通过电磁仿真(HFSS软件)提取CPW的S参数并计算相应的分布参数,建立了基于硅衬底的标

【作者】

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黎庶胡嘉杰王文骐

【机构】

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上海大学通信与信息工程学院

【出处】

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微计算机信息

【发表日期】

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2008年1期

【关键词】

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共面波导毫米波 CMOS 建模 CPW millimeter wave CMOS modeling

【基金项目】

：

上海—应用材料研究与发展基金资助(No.0506)由上海市科学技术委员会与美国应用材料公司共同设立

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本文阐述了毫米波CMOS集成电路的关键技术之一,Si基共面波导(CPW)的机理和等效电路模型。通过电磁仿真(HFSS软件)提取CPW的S参数并计算相应的分布参数,建立了基于硅衬底的标准0.18μmCMOS工艺的毫米波CPW模型。实现了频率可达40GHz,特性阻抗分别为36、50和70Ω的CPW元件库。

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