（LaxBi1-x）2Ti2O7薄膜X射线光电子能谱研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mahuihui

【摘要】

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采用化学溶液沉积(CSD)工艺在Si(100)衬底上制备了i22Ti2O7(BTO(和(LaxBi1-x)2Ti2O7(BLT(铁电薄膜,薄膜的X射线衍射(XRD)结果显示其具有较好的结晶性,运用X射线光电能谱仪(XP

【作者】

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张寅王弘杨雪娜姚伟峰尚淑霞刘维民

【机构】

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山东大学,山东大学,中国科学院兰州化学物理研究所国家重点实验室

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

介电薄膜化学溶液沉积(CSD) X射线光电能谱仪(XPS) Bi_2Ti_2O_7 thin film CSD XPS

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采用化学溶液沉积(CSD)工艺在Si(100)衬底上制备了i22Ti2O7(BTO(和(LaxBi1-x)2Ti2O7(BLT(铁电薄膜,薄膜的X射线衍射(XRD)结果显示其具有较好的结晶性,运用X射线光电能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了研究,分析结果表明,薄膜中氧空位的出现影响了其相的稳定性,通过掺La可以改善其性能.

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