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锐钛矿纳米晶粒TiO2薄膜的制备及分析

来源 :黑龙江大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woainiyuying

【摘 要】

：

以金属钛为靶材,采用射频磁控溅射方法制备纳米晶粒TiO2薄膜.利用扫描电镜、紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪研究不同热处理温度下制备的纳米晶粒TiO2薄膜的结构及表面形貌.实

【作 者】

：

张辉军 邱成军 

【机 构】

：

黑龙江大学集成电路重点实验室

【出 处】

：

黑龙江大学自然科学学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

纳米晶粒TiO2薄膜 射频磁控溅射 晶化 锐钛矿相 金红石相 nano-grain TiO_2 thin film magnetron sputtering c 

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以金属钛为靶材,采用射频磁控溅射方法制备纳米晶粒TiO2薄膜.利用扫描电镜、紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪研究不同热处理温度下制备的纳米晶粒TiO2薄膜的结构及表面形貌.实验结果显示,用射频磁控溅射得到的纳米晶粒TiO2薄膜与衬底结合紧密,薄膜表面致密、平整,经550℃晶化的纳米晶粒TiO2薄膜为均一的锐钛矿相,具有良好的紫外光吸收率.

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