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纳米晶粒TiO2薄膜相关论文
锐钛矿纳米晶粒TiO2薄膜的制备及分析
以金属钛为靶材,采用射频磁控溅射方法制备纳米晶粒TiO2薄膜.利用扫描电镜、紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪研究不同热处理温度下制......
期刊
纳米晶粒TiO2薄膜
射频磁控溅射
晶化
锐钛矿相
金红石相
nano-grain TiO_2 thin film
magnetron sputtering
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