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高纯度四氟化硅（ SiF4）是电子工业中的一种重要原料，能用于光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料。详细介绍了SiF4气体中（ SiF3）2 O的生成原理和（ SiF3）2 O的净化方法，六氟二甲硅醚的纯化方法有活性炭吸附法，与含氟化氢的浓硫酸，氟气，氟化剂等物质发生反应，其中详细介绍了活性炭对四氟化硅气体中的杂质的净化效果。