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介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm（PV值）,测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。
φ300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造
【摘 要】
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介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm（PV值）,测
【机 构】
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南京理工大学电光学院,北方夜视科技集团有限公司检验计量部
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2011年5期
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