【摘 要】
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从理论上分析了容栅传感器的工作原理及其理论非线性误差，提出了较为合理的等效电路和理论非线性误差表达式。容栅传感器是一种相位跟踪型位移传感器，对输入信号的幅值变化不敏
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从理论上分析了容栅传感器的工作原理及其理论非线性误差，提出了较为合理的等效电路和理论非线性误差表达式。容栅传感器是一种相位跟踪型位移传感器，对输入信号的幅值变化不敏感，具有较好的抗干扰能力。容栅传感器的原理非线性误差与小发射极板宽度成正比，为减小非线性误差，在工艺条件允许的情况下，应尽可能减小小发射极的宽度。
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