【摘 要】
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通过发射光谱测量和拟合不同的微波脉宽和气压下C波段微波放电的氮气等离子体振动温度、转动温度和电子激发温度.气压在266～400 Pa时,等离子体的振动温度为（2700±100）K,电
【机 构】
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中国工程物理研究院应用电子学研究所高功率微波技术重点实验室,强电磁工程与新技术国家重点实验室（华中科技大学）
【基金项目】
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国家高技术发展计划项目,高功率微波技术重点实验室基金项目（2013HPM-10）
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通过发射光谱测量和拟合不同的微波脉宽和气压下C波段微波放电的氮气等离子体振动温度、转动温度和电子激发温度.气压在266～400 Pa时,等离子体的振动温度为（2700±100）K,电子激发温度为（0.32±0.015） eV,转动温度随脉宽增加而上升,实验中测得的最大转动温度为370 K.偏离266～400 Pa时,振动温度和电子激发温度同时出现了下降的趋势,而转动温度出现了上升的趋势.这意味着电子激发温度和振动温度具有很强的关联性.
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