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讨论了高频辉光放电等离子体繁育中绝缘衬底表面的自负偏压问题，用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。
高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析
【摘 要】
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讨论了高频辉光放电等离子体繁育中绝缘衬底表面的自负偏压问题，用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。
【机 构】
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湘潭大学物理系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年4期
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