高温超导双晶结垫圈型dc SQUID磁强计的研制

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【摘要】

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采用脉冲激光沉积法(PLD)在10x10 mm2的SrTiO3双晶基片上制备了纯c取向的高温超导YBCO薄膜,薄膜表面平整,杂相颗粒少,在20 μm尺度范围内,起伏在几个nm之内.通过标准光刻和离

【作者】

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漆汉宏田永君王天生郑东宁

【机构】

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燕山大学,燕山大学,中科院物理所超导国家重点实验室

【出处】

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电子器件

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

双晶结 DE SOUID 磁强计 bicrystal junction dc SQUID magnetometer

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采用脉冲激光沉积法(PLD)在10x10 mm2的SrTiO3双晶基片上制备了纯c取向的高温超导YBCO薄膜,薄膜表面平整,杂相颗粒少,在20 μm尺度范围内,起伏在几个nm之内.通过标准光刻和离子束刻蚀工艺制备出了高温超导垫圈型双晶结dc SQUID磁强计.测试结果表明:磁强计有效面积达0.09 mm2,在没有超导屏蔽的环境下,磁强计白噪声区磁场噪声达到333 fT/Hz1/2.

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