【摘 要】
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本文从声场理论出发,将各晶粒的电位移矢量D视作对有效介电常数有独立贡献的矢量,采用Bond矩阵法进行张量变换,并对各晶粒的贡献进行空间平均,得出AlN压电薄膜微晶择优取向对
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本文从声场理论出发,将各晶粒的电位移矢量D视作对有效介电常数有独立贡献的矢量,采用Bond矩阵法进行张量变换,并对各晶粒的贡献进行空间平均,得出AlN压电薄膜微晶择优取向对其介电常数影响的分析结果。
Based on the theory of sound field, this paper considers the electric displacement vector D of each grain as a vector that independently contributes to the effective permittivity, and uses the Bond matrix method to perform the tensor transformation, and space-averages the contribution of each grain to obtain Analysis of the Influence of Preferential Orientation of AlN Piezoelectric Thin Films on Their Dielectric Constant.
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