【摘 要】
：
采用射频反应磁控溅射法在Pb（Zr0.52Ti0.48）O3（PZT）/Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了ZnO薄膜,利用X线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、霍尔效应测试系统等对不同退火温度下制备薄膜的结构
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
论文部分内容阅读
采用射频反应磁控溅射法在Pb（Zr0.52Ti0.48）O3（PZT）/Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了ZnO薄膜,利用X线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、霍尔效应测试系统等对不同退火温度下制备薄膜的结构、形貌及电阻率等进行了分析表征。结果表明,退火温度600℃的ZnO薄膜（002）择优取向较好,晶粒大小均匀,表面平整致密。随着退火温度的增大,电阻率先下降后升高,600℃时ZnO薄膜电阻率达最小。
其他文献
不同压电换能器的动态电阻、电容、电感和静态电阻、电容的值不同,这些参数均可从其对应的导纳圆中得到。分析了导纳圆测量中的两个重要影响因素：A/D转换器的量化误差、测量电
【正】 高校图书馆是学校的图书资料中心。它承担着为教学、科研服务的重担,被视为高校的三大支柱之一。系图书资料室是高校图书馆系统不可缺少的重要组成部分。它同图书馆一
纳米定位平台在微型机械和精密仪器的设计和制造领域起着重要作用。该文将拓扑优化引入到压电陶瓷驱动的一维纳米定位平台设计中,并利用多目标设计方法对平台的运动和结构需
【正】 长期以来,史学界对廖仲恺的研究较为重视,近来又开辟了新领域——经济思想的探讨。认真分析其经济思想,对今天建设社会主义现代化无疑具有重要借鉴意义。本文仅以廖仲
为了对横向双扩散MOSFET（LDMOS）器件所采用的锆钛酸铅（PZT）高介电常数（高K）薄膜进行微图形化,对湿法刻蚀过程中腐蚀液、光刻、刻蚀等工艺进行了优化研究,发现由BOE＋HCl＋HNO3＋H2O＋缓冲剂
文旅融合是新时代背景下文化和旅游产生的一种新业态,文化和旅游部的成立为文旅融合提供了前进方向,它的目标和使命是以文化促进旅游业繁荣,以旅游彰显文化的内在精髓。南京
【正】 要在部队中长期有效地开展反腐蚀教育,经常性思想工作是关键环节。因此,必须把反腐蚀教育作为经常性思想工作的重要内容,扎扎实实地开展工作。一、转变思想观念,充分
文言文是中华民族的根,我们必须从中汲取而营养,古为今用。新课程标准也明确指出:教读古典诗文,应有意识地在积累、感悟和运用中提高学生的欣赏品味和审美情趣。但是调查结果
针对压电陶瓷驱动电源的应用设计了一种基于单片机（MCU）控制的高压开关电源,实现了低压（9～18 V）输入下的高压（150 V）输出。电路主回路采用准谐振反激变换拓扑结构,MCU芯片控制脉宽调
患者女,21岁,因外院超声提示附件包块于我院就诊。平素月经规律,3个月前无明显诱因出现阴道流血,量少,呈洗肉水样颜色。实验室检查:甲胎蛋白、CA125均呈阴性。超声检查:子宫