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采用一步低温水溶液法在未制绒的单晶硅材料表面制备Zn O纳米棒阵列陷光结构材料,通过调控生长温度,对纳米棒阵列参数进行调控.利用扫描电子显微镜对不同条件下制备的Zn O纳米棒阵列材料的形貌进行表征,探究生长温度对阵列参数的影响.采用X射线衍射仪、荧光分光光度计、紫外-可见-近红外光谱仪对Zn O纳米棒阵列的晶体结构及光学特性进行分析.结果表明:低温水溶液法制备的Zn O纳米棒阵列结构具有较好的晶体品质、较高的透过率及较好的陷光效果.与2种材料(未制绒的裸硅片、仅有Si Nx减反射层的硅片)的表面相比,陷光