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利用弹性优良的铍青铜材料作为振动元件来制作倾角传感器,计算了倾角传感器铍青铜元件偏角和输出电压之间的关系。并在此倾角传感器基础上设计了一款典型的三明治式电容式倾斜仪。采用专用的电容检测芯片MXT9030将倾角传感器的电容信号转换为电压信号,同时通过微控制器STM32的控制协助提高传感器的线性度。实验结果显示,该倾斜仪测量范围广,线性度良好。