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集成光学器件已在许多领域得到了应用,对所有的光学器件,光纤与芯片之间的耦合都是一大难题,这是因为耦合的对准精度要求十分严格.常用的耦合方法之一是用精确腐蚀的Si-V型槽作为集成光学器件尾纤耦合时光纤的固定夹具,V型槽的质量直接关系到耦合的成败.探讨了Si-V型槽制作的理论、尺寸设计及工艺.
用于光纤阵列的Si-V型槽的制作
【摘 要】
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集成光学器件已在许多领域得到了应用,对所有的光学器件,光纤与芯片之间的耦合都是一大难题,这是因为耦合的对准精度要求十分严格.常用的耦合方法之一是用精确腐蚀的Si-V型槽
【机 构】
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天津津航技术物理研究所,天津,300192
【出 处】
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红外与激光工程
【发表日期】
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2004年期
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