MEMS高g值复合量程开关设计

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Andy_nnu
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提出一种复合量程的MEMS开关,该新型MEMS高g值开关可检测高达40000g。的不同离散水平的冲击值,同时,在接触式阻尼模型上对不同加速度值进行分析测试。试验中,通过Hopkinson杆标定,MEMS开关最大可实现对37000g。的加速度信号进行标定响应,测试的平均值与仿真相吻合,最大偏差小于5%。
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