【摘 要】
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在纯氢气气氛中对用ＨＦＣＶＤ法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理，结果表明，微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大，形成（１００）面金刚石，对低压合成金刚石过程中形成（１００）面金刚石和
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在纯氢气气氛中对用ＨＦＣＶＤ法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理，结果表明，微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大，形成（１００）面金刚石，对低压合成金刚石过程中形成（１００）面金刚石和扩散热处理中形成的（１００）面金刚石的机理作了讨论。
In a pure hydrogen atmosphere, the as-grown microcrystalline diamond films prepared by HFCVD method were diffused and heat treated. The results show that the microcrystalline diamond grows selectively during the diffusion heat treatment to form (100) facets, The mechanism of forming (100) faceted diamond and (100) faceted diamond formed by diffusion heat treatment during the synthesis of diamond is discussed.
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