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Cu互连线显微结构和应力的AFM及SNAM分析
Cu互连线显微结构和应力的AFM及SNAM分析
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianjie12321
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
吉元
钟涛兴
李志国
王晓东
夏洋
BALK L J
LIU
【机 构】
:
北京工业大学,北京,100022;中国科学院微电子研究和发展中心,北京,100029;Lehrstuhl für Elektronik, Bergische Universitat Wuppertal
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
铜互连线
扫描探针显微镜
扫描近场声学显微镜
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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